ドライケミカルズの新技術!

【ウェーハ外周の面取りはウェーハスライス前にインゴットの状態でバッチ処理】

 

 

 

 

 

  SiCインゴット外周へ溝を形成

 

 

 

 

 

ワイヤーに対し溝入れしたインゴットを平行にセットしスライス

 

 

 

 

 

スライス終了と同時にウェーハ外周の面取りが完了